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試驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)

針對過去使用中存在的問題，現(xiàn)代試驗(yàn)室對載氣的使用環(huán)境進(jìn)行了改革，即 “集中供氣系統(tǒng)”，即將使用氣體（以下簡稱載氣）集中貯存，然后通過壓差的原理將氣體經(jīng)過金屬或其他材質(zhì)管路送至用氣點(diǎn)。其優(yōu)點(diǎn)主要有以下幾點(diǎn)：

1、首先解決氣瓶的放置問題。氣瓶間的位置如果可能盡量位于與試驗(yàn)室相對獨(dú)立的房間，如果與試驗(yàn)室在同一大樓內(nèi)，則氣瓶間的位置要盡量位于人1流較少并且獨(dú)立的房間，這種方式可使氣瓶與工作人員及儀器完全隔離，即使有害氣體有泄漏，也不會發(fā)生直接傷害。2倍，負(fù)壓保壓為-12PSI，保壓時(shí)間至少120分鐘以上，由于壓力傳感器（PT）受溫度的影響，一般有2PSI的正負(fù)波動。

2、其次氣體混合的問題。將所有載氣氣瓶根據(jù)氣體性質(zhì)分別集中在一個氣瓶間中與助燃?xì)怏w分開存貯。

3、再次是解決氣瓶壓力的問題。每種氣體可以將多瓶氣體并聯(lián)然后通過一個出口統(tǒng)一減壓后運(yùn)送氣體至使用點(diǎn)。氦檢漏發(fā)現(xiàn)的泄漏點(diǎn)經(jīng)修補(bǔ)后，應(yīng)重新經(jīng)過氣密性試驗(yàn)，合格后再按規(guī)定進(jìn)行氦檢漏。因?yàn)闅馄块g是相對獨(dú)立的，整個氣路系統(tǒng)壓力1大的地方也是氣瓶出口處，因此這種方式將氣瓶壓力可能發(fā)生的危險(xiǎn)縮小至氣瓶間內(nèi)，可對人體及儀器的傷害可降到1低。

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氦質(zhì)譜檢漏儀

隨著科技的迅猛發(fā)展，氦質(zhì)譜檢漏儀及其應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和究善。各國的設(shè)備廠商相繼推出了多種類烈的氦質(zhì)譜檢漏儀，廣泛應(yīng)用丁航空航天，電力電子，汽車等各個行業(yè)，綜觀1新氦質(zhì)譜檢漏儀的性能特點(diǎn)發(fā)現(xiàn)，氦質(zhì)譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等先進(jìn)方向發(fā)展，這些特點(diǎn)很好地滿足了當(dāng)前檢漏應(yīng)用的需求，也極大地1推動了氮質(zhì)譜檢漏技術(shù)的不斷發(fā)展。根據(jù)行業(yè)規(guī)范,對特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風(fēng)、電氣防爆等進(jìn)行評估。

實(shí)驗(yàn)室氣體管道設(shè)計(jì)要求

了解實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)的都知道：實(shí)驗(yàn)室的任何的設(shè)計(jì)都是有規(guī)格要求的，出了這個要求的范圍那么實(shí)驗(yàn)室的設(shè)計(jì)就有漏洞，就不合格，就容易發(fā)生事故。實(shí)驗(yàn)室的氣體的排放是非常重要的，如果說實(shí)驗(yàn)室氣體管道設(shè)計(jì)不合理，工作人員就容易出事，甚至嚴(yán)重的就會有生命危險(xiǎn)。2、閥座檢漏法采用閥門上游充氦氣，下游抽真空的方法檢漏，測試管路系統(tǒng)的泄漏率。

高純氣體的輸送管路系統(tǒng)

隨著微電子工業(yè)的發(fā)展，超大規(guī)模集成電路制造的硅片尺寸越做越大，要求半導(dǎo)體制造工藝中的氣體品質(zhì)相應(yīng)越來越高，對氣體中雜質(zhì)和露1點(diǎn)要求極為嚴(yán)格，需要達(dá)到ppb、ppt級，塵埃粒徑求控制小于0.1～0.05m的微粒，因此對高純氣體的輸送管路系統(tǒng)提出了非常高的要求 。以上內(nèi)容由艾明坷為您提供，今天我們來分享的是高純供氣系統(tǒng)的相關(guān)內(nèi)容，希望對您有所幫助。